產品特點
● 體積小，內部集成6個調功回路，每個回路獨立控制
● 每個回路帶內置快熔
● 結構緊湊、操作簡單
● 下拉式蓋板，方便接線和維護
● 采用過零控制，對電網無污染
● 下置送風風機，使用壽命更長
● 每個回路帶獨立控制板，互不影響
● 集成6路獨立4～20mA給定信號，具備電流限制功能
產品用途
TPM50 系列多回路功率控制器采用模組設計思路，內部集成最多 6 回路。產品主要應用于擴散爐、PECVD、外延爐等。
產品特點
● 體積小，內部集成6個調功回路，每個回路獨立控制
● 每個回路帶內置快熔
● 結構緊湊、操作簡單
● 下拉式蓋板，方便接線和維護
● 采用過零控制，對電網無污染
● 下置送風風機，使用壽命更長
● 每個回路帶獨立控制板，互不影響
● 集成6路獨立4～20mA給定信號，具備電流限制功能
產品用途
TPM50 系列多回路功率控制器采用模組設計思路，內部集成最多 6 回路。產品主要應用于擴散爐、PECVD、外延爐等。
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0838-2900585