產品特點
● 體積小,內部集成6個調功回路,每個回路獨立控制
● 每個回路帶內置快熔
● 結構緊湊、操作簡單
● 下拉式蓋板,方便接線和維護
● 采用過零控制,對電網無污染
● 下置送風風機,使用壽命更長
● 每個回路帶獨立控制板,互不影響
● 集成6路獨立4~20mA給定信號,具備電流限制功能
產品用途
TPM50 系列多回路功率控制器采用模組設計思路,內部集成最多 6 回路。產品主要應用于擴散爐、PECVD、外延爐等。
產品特點
● 體積小,內部集成6個調功回路,每個回路獨立控制
● 每個回路帶內置快熔
● 結構緊湊、操作簡單
● 下拉式蓋板,方便接線和維護
● 采用過零控制,對電網無污染
● 下置送風風機,使用壽命更長
● 每個回路帶獨立控制板,互不影響
● 集成6路獨立4~20mA給定信號,具備電流限制功能
產品用途
TPM50 系列多回路功率控制器采用模組設計思路,內部集成最多 6 回路。產品主要應用于擴散爐、PECVD、外延爐等。