適用領域：
可適配于RLS系列射頻電源使用，廣泛應用于等離子刻蝕、鍍膜、等離子清洗、等離子去膠等工藝。單獨使用時，可與其他廠家射頻電源配套使用。
產品特點：
l 全數字控制，匹配精度高，匹配時間短
l 采用真空電容，可靠性高，使用壽命長
l 結構緊湊，體積小，安裝便捷
l 超寬匹配范圍，可定制適配任意負載
l 具有手動/自動匹配功能
l 具有保持和預置設定功能
l 具有通訊功能，可獨立連接上位機實時顯示負載狀態
l 可定制化輸出接口
適用領域：
可適配于RLS系列射頻電源使用，廣泛應用于等離子刻蝕、鍍膜、等離子清洗、等離子去膠等工藝。單獨使用時，可與其他廠家射頻電源配套使用。
產品特點：
l 全數字控制，匹配精度高，匹配時間短
l 采用真空電容，可靠性高，使用壽命長
l 結構緊湊，體積小，安裝便捷
l 超寬匹配范圍，可定制適配任意負載
l 具有手動/自動匹配功能
l 具有保持和預置設定功能
l 具有通訊功能，可獨立連接上位機實時顯示負載狀態
l 可定制化輸出接口
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