適用領域
光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。
適用工藝
等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。
產品特點：
l 機架式安裝方式
l 采用全數字控制，具有便捷和豐富的操作菜單
l 進線具有APFC模塊，提高輸入側功率因數，降低諧波
l 穩定可靠的功放和直流控制模塊
l 駐波1.5時仍能輸出額定功率
l 具有多種通訊接口可選，通過通訊接口，可完全對電源進行操作
l 高亮LCD顯示，操作直觀
l 具備CEX相位同步功能
l 3個可編程模擬量輸出
l完善保護功能
在線留言
0838-2900585