微波開關電源是基于IGBT高頻逆變技術的新型微波電源,集陽極高壓電源、燈絲電源和磁場電源(3kW微波電源除外)于一體,為3kW、6kW、10kW、15kW、25kW、75kW、100kW連續波磁控管提供工作條件。該產品用于MPCVD、微波等離子體刻蝕、微波等離子體去膠等領域。
微波開關電源是基于IGBT高頻逆變技術的新型微波電源,集陽極高壓電源、燈絲電源和磁場電源(3kW微波電源除外)于一體,為3kW、6kW、10kW、15kW、25kW、75kW、100kW連續波磁控管提供工作條件。該產品用于MPCVD、微波等離子體刻蝕、微波等離子體去膠等領域。